题目：利用原子尺度探针技术实现纳米器件制作和测量

时间：2023年6月1日 14:00-17:00

地点：机械与动力工程学院 F210会议室

报告人：周向前 博士（百及纳米科技（上海）有限公司）

邀请人：任明俊 教授（智能制造与信息工程研究所）

报告人简介

周向前，百及纳米科技（上海）有限公司创始人，中科院半导体所超晶格国家重点实验室客座研究员。中国科技部6200万人民币重大仪器研发专项发起人及专利发明人，德国Raith公司电子束光刻机eLiNE系列发明人之一，在电子束光刻机领域有着多年经验。

报告摘要

当芯片的技术节点进入5纳米时代，再进一步进入3纳米时代，相应的纳米器件制作和测量手段必须更精确才行。亚纳米制造和测量技术将成为最核心的关键技术之一，属于极限纳米技术范畴。百及纳米利用扫描探针技术提出了不同于传统技术路线的原子尺度上的器件制作和测量方案，在超高精度光刻拼接技术、探针电子束光刻机以及单纳米级精准定位的单离子注入技术和设备等方面均得到了应用与验证。