11月1日, 与上海协微环境科技有限公司(以下简称“协微环境”)举行半导体低碳后处理技术联合研究中心签约揭牌仪式。上海协微环境科技有限公司总经理车薛东、CTO Kirel Tang,机械与动力工程学院院长杜朝辉,先进产业技术研究院副院长刘欢喜,机械与动力工程学院副院长瞿叶高、李玉阳等参加了仪式。
杜朝辉致欢迎辞,希望双方以中心成立为新起点,围绕国家战略需求,聚焦国家重大科技问题进行优势互补、资源共享、协同攻关,为半导体产业的进步贡献力量,实现环境保护和科技创新的双赢。
车薛东表示,核心科技的突破和创新离不开基础研究,协微环境作为半导体后处理技术领军企业,而机械与动力工程学院具备优秀的师资队伍和深厚的专业底蕴,希望双方深化合作,为半导体低碳后处理技术的发展带来更多的突破。
联合研究中心主任李玉阳介绍了中心的筹建情况和远景目标,双方将深耕半导体后处理前沿创新领域,在技术攻关、人才培养等方面开展长期深入合作,推动科技成果转化,服务重点行业发展。
李玉阳与Kirel Tang共同签署《共建 —协微环境半导体低碳后处理技术联合研究中心协议》,杜朝辉与车薛东共同为联合研究中心揭牌。