随着芯片制造、智能传感、消费电子等领域的不断发展，光学器件对于超精密光学制造的要求越来越高，传统的加工方法已经很难满足其品质、结构复杂度等方面不断攀升的标准。飞秒激光作为超精密光学制造的新手段，能够对传统加工方式难以加工的硬脆材料进行加工，而且不断在透明材料的内雕技术中取得新的进展。本项目将飞秒激光能场作用与超精密多轴联动控制相结合，构建了多轴联动激光加工装备系统（MLPES），实现了激光空间坐标的精确反馈控制，飞秒激光的随动控制以及大幅面纹理结构的精准拼接，大幅提升了超精密光学微结构的加工质量和制造效率。

完成多轴联动激光加工平台的设计与搭建，满足轴系定位精度及运动控制要求，并实现轴系运动速度的精准平稳控制。

完成多自由度精密轴系的空间坐标的统一控制与反馈，并实现大幅面纹理结构的有效拼接加工。

完成激光系统与多轴系的联动控制，实现精确空间坐标点的随动加工，根据加工需求实现开/关光、脉冲数、作用区的自由控制。

形成完整的多轴联动激光加工装备系统，并进行闪耀光栅、微透镜阵列、柱状透镜阵列等光学微结构加工实验以验证其加工能力

本项目成功构建了高精度多轴联动激光加工平台系统，实现了微米级加工精度，稳定运动控制及激光控制等性能需求。

开发了三轴联动控制软件与加工路径自动规划程序，实现了激光空间坐标控制与反馈。

完成了激光系统的自由控制，实现了激光脉冲随动选择性输出，完成了轴系与激光器脉冲的协同控制。

开发了表面纹理结构高低频拼接加工算法，实现了大幅面结构的有效拼接加工。

完成了玻璃内部十二生肖光栅结构，玻璃表面微透镜阵列及柱状透镜阵列等光学微结构的超精密加工，进一步验证了系统性能。